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新型空冷式ドライ真空ポンプ販売開始 一般産業用途向け小型・軽量EV-PA型

2018.12.10
株式会社荏原製作所

EV-PA500型(左)、EV-PA50型(右)

 荏原製作所(以下:荏原)は、2018年12月より分析・医療・食品・コーティング業界における真空排気用途で、よりクリーンな真空環境を生み出すユーザーフレンドリーな新型空冷式ドライ真空ポンプ EV-PA型の販売を開始しました。

1 . 背景と狙い
今回の新製品がターゲットとする分析・医療・食品・コーティングの業界では、清浄な真空環境の実現や真空ポンプのメンテナンス頻度低減などの要求が高まっています。
荏原は、真空の質やポンプのメンテナンスインターバルに対して要求が厳しい、半導体業界で培った独自のドライ真空ポンプの技術を生かし、分析・医療・食品・コーティング業界のお客さまの要望に応える新製品を開発しました。
2 . 特長
・油・水分の真空側への逆流が無い。
・非接触シールを採用しており、シール交換不要でメンテナンスインターバルが長い。
・必要なユーティリティは電源のみ。
・重量9kg~21kgと非常に軽量で移動が容易であり、幅広い用途*1で使用可能。
・CEマーク・NRTL・SEMI S2に対応。(海外でも使用可能)
・排気速度は50~500L/min の3機種。
3 . 今後の展開
販売目標は、2019年は1,000台/年、将来的には10,000台/年を目指す計画です。
荏原は、お客さまの生産性向上やトータルコストの削減に貢献する製品・サービスの開発に一層注力してまいります。
【ラインナップ】
型式 排気速度*2 (L/min) 到達圧力*2
(Pa)
到達圧力時*2
消費電力 (W)
寸法 WxLxH*3
(mm)
EV-PA 50 50 20 230 175 x 238 x 192
EV-PA 250 230 0.5 240 189 x 482 x 253
EV-PA 500 500 0.5 270 189 x 482 x 272
※1 腐食性・爆発性ガスの排気および反応副生成物が発生する用途には適しません。凝縮性ガスや水分を含んだガスの排気の際には、ガスバラストが必要です。
※2 上表中の数値は、ガスバラストを使用しない場合の値です。
※3 上表中の寸法は筐体(脚部含む)の寸法であり、吸排気口・取手部は含みません。

 荏原グループは、中期経営計画とESG重要課題に取り組むことで、経営方針の達成と企業価値のさらなる向上を図り、持続可能な開発目標(SDGs)に貢献してまいります。
 
 荏原は新型空冷式ドライ真空ポンプEV-PA型を、12月12日より東京ビッグサイトで開催されるSemicon Japan2018 の会場にて紹介致します。

※「○○○型」の表示は当社の機種記号です。

軽量でメンテナンスのしやすい産業機械により、産業基盤の強化に貢献

製品の小型化・軽量化による持続可能な資源利用への貢献