ニュース & メディア

新型排ガス処理装置TND-Single型, TND-Single Plus型を発売

2019.11.01
株式会社荏原製作所

TND-Single型イメージ

 荏原製作所(以下:荏原)は、2019年11月より、半導体製造プロセスにおける新型排ガス処理装置TND-Single型(燃焼式+水処理式)及びTND-Single Plus型(水処理式+燃焼式+水処理式)の発売を開始しました。

1.背景と狙い
 IoT、AIの進化に伴い通信やロボットの技術が急速に進化する現代において、半導体製造プロセスでは排ガス処理に対する高効率化や生成物対策によるメンテナンスインターバル延長などの需要が高まっています。荏原はお客様のニーズに特化した新型排ガス処理装置TND型シリーズを開発し、今後、国内、北米、台湾を中心に信頼性の高い荏原ブランドを展開してまいります。

2. 特長
①新型バーナーの搭載により、熱エネルギー損失を抑えた高効率燃焼の実現と、低NOx、低COを達成しました。
②堆積物自動除去機能、濡れ壁形成機能、タンク内攪拌機能により、メンテナンスインターバルを延長します(従来製品比較約3倍~6倍以上*1)。
③バーナー前段に水処理部を追加し、SiN、TiN,など生成物が多量に発生するプロセスガスを事前に除去することで、バーナー内部で発生する粉体量を大幅に低減します。

ラインナップ
型式 最大ガス
流入口数
最大ガス流入量
(L/min)*2
寸法
W x D x H (mm)*3
燃料
TND-Single型 4 200 (1ポートあたり)
400 (1バーナーあたり)
1200 x 650 x 1980 都市ガス
または
プロパンガス
TND-Single Plus型 2
*1 同一条件下での弊社従来品との比較による値です。条件により異なる場合がございます。
*2 条件により異なる場合がございます。
*3 筐体のみ、接続される配管等は含まれません。

3.今後の展開
 荏原は2019年12月に開催されるセミコンジャパンにて、TND-Single型およびTND-Single Plus型のパネル展示を行います。
【SEMICON Japan 2019  http://www.semiconjapan.org/jp/

 新製品TND型シリーズに関するお問い合わせは こちら

 荏原はこれからもお客様の期待に応える技術で課題に挑戦し、多様化する半導体業界のさらなる発展に貢献していきます。

 荏原グループは、中期経営計画とESG重要課題に取り組むことで、経営方針の達成と企業価値のさらなる向上を図り、持続可能な開発目標(SDGs)に貢献してまいります。

クリーン技術及び環境に配慮した産業プロセスの拡大

化学物質の排出を大幅に削減する