最先端の真空技術で生産性向上
安心のグローバルサポート
自動化工場による生産プロセス強化
高信頼性機器で事業維持をサポート
荏原の精密・電子カンパニーは業界最先端の技術製造現場を支える、真空技術と平坦化技術のリーディングカンパニーです。
半導体製造に欠かせないCMP装置を始め、ドライ真空ポンプ、排ガス処理装置、オゾン水製造装置など様々な製品を世界中に供給しています。高性能、高信頼性、安心のサポート体制により、多様な分野で採用が進んでいます。半導体分野のみならず、化学、医薬、その他の製造業や研究開発用途で荏原製作所の製品が活躍しています。
半導体製造
日常生活に不可欠な様々なデバイスを支える半導体。荏原の製品は半導体製造に欠かせない様々な工程で使用されています。
分析
質量分析計、ガスクロマトグラフィー、電子顕微鏡など、様々な分析器とともに荏原のドライ真空ポンプが活躍しています。
リーク検査
医薬品パッケージや空調機器など、密閉容器の漏れ検査にリーク検査。荏原のドライ真空ポンプが品質向上をサポートしています。
コーティング
工業用製品や服飾品、光学部品など幅広い分野で利用されています。高品質コーティング形成に荏原のドライ真空ポンプが活躍しています。
アプリケーション例一覧
ドライ真空ポンプとは
クリーンな真空環境の構築に欠かせない、非接触構造のドライ真空ポンプです。半導体製造工程を中心に、様々な分野で活躍しています。
半導体製造装置とは
精密かつ高集積半導体製造に欠かせない、高スループットCMP装置・高研磨性能のベベル研磨装置・フレキシブル構成可能なめっき装置を製造しています。世界中の主要な半導体メーカーへ半導体製造装置を供給しています。
排ガス処理装置とは
地球温暖化ガス(PFCs)、有毒ガス、VOCなど製造工程で発生する有害ガスを無害化し、大気に放出するための除害装置です。荏原の排ガス処理装置は、除害処理の難しいPFCsガスも高効率処理が可能です。
オゾン関連製品とは
オゾン水は、オゾン(O<sub>3</sub>)を水に溶解させ強力な酸化力を有します。荏原のオゾン水製造装置は、高濃度かつ濃度安定性の高いオゾン水で、処理効率や清浄度の向上に貢献しています。
ドライ真空ポンプ EV-PA型
省エネ設計、小型・軽量・空冷モデル
CMP装置
優れたプロセス性能と高信頼性
排ガス処理装置 TND型
低NOx、低CO排出と高効率処理を実現
オゾン水製造装置 OZW型
高濃度・濃度安定性の高いオゾン水を製造
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