半导体制造装置
成为在制造和研究开发方面提供支持的最佳合作伙伴
利用世界最高水平的技术和全球范围的支持，
实现稳定运行并提高生产效率
本公司向全球供应尖端半导体制造不可或缺的CMP装置、干式真空泵、废气处理装置、臭氧水制造装置等各种产品。凭借高性能、高可靠性、放心的支持体制，在多个领域得到广泛应用。荏原集团的产品不仅在半导体领域得到应用，在太阳能电池、医药、其他制造业、研究开发用途也发挥着作用。
市场份额与成果
解决方案
目前半导体的需求在智能手机、AI、自动驾驶等各大领域不断扩大。精密与电子公司在半导体制造重要工序的CMP装置、干式真空泵、废气处理技术的领域，凭借丰富经验和技术实力提供满足顾客需求的最佳解决方案。
措施和活动
本公司积极开发拥有高度”平坦化技术”的高性能CMP装置以及为减少环境负荷做贡献的节能省资源组件产品，进而致力于干式真空泵制造的自动化等。
为全球生活提供支持的技术
半导体在智能设备、家电等方面为我们的生活提供支持，本公司经营半导体制造工序不可或缺的”CMP装置”，全球份额位列第二。在全球半导体制造现场得到广泛应用。
面向未来的行动
本公司积极开发拥有高度“平坦化技术”的高性能CMP装置以及为减少环境负荷做贡献的节能省资源组件产品，进而致力于干式真空泵制造的自动化等。
挑战14埃米
目前构成半导体的配线宽度已超越nm（纳米）单位，正努力向Å（埃米）水平迈进。
成为客户的最佳合作伙伴
半导体制造业中各大制造商的发展日新月异。不仅要满足多样化要求，还要发现市场上不存在的需求，并创造实现这些需求的技术。
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