废气处理装置又称净化装置、洗涤器，能够净化制造工艺中使用的各种气体，做到安全排放。
按照排放废气的种类和气体量，所用的处理方法有燃烧式、湿式、干式、催化式等。除用于半导体制造等电子设备产业领域以外，它还在化学工厂、电镀和涂装工艺、空调的冷媒分解等领域发挥着作用。
按照排放废气的种类，其所用的处理方法有燃烧式、湿式、干式、催化式等。除用于半导体制造等电子设备产业领域以外，还在化学工厂、电镀和涂装工艺等领域发挥着作用。
荏原的废气处理装置包括可处理各种气体的产品，例如可高效处理难以处理的氟化温室气体（PFCs气体）和全球温室气体（GWG）的机型、能够安全处理氢气等可燃性气体的机型、对含有砷等较强毒性物质的气体进行无毒化处理的机型等。
产品阵容丰富多样，除了能够一次性处理氟化温室气体（PFCs气体）、全球温室气体（GWG）和可燃性气体的燃烧式废气处理装置以外，还包括无需进行排水处理的干式装置、无需燃料的催化式装置以及进行水处理的湿式装置等。
燃烧式废气处理装置通过独家开发的燃烧器和生成物去除功能等各种生成物处理措施，能够减少维护时间，降低维护频率。除此之外，废气处理装置还搭载了按需运行功能，可以按照处理气体的种类和数量，对燃料供应量等运行条件进行调节，从而降低运行成本和维护成本。
迄今为止，荏原的废气处理装置主要结合电子半导体设备制造的发展而不断进行技术创新。
以下是荏原废气处理装置的使用事例介绍。
半导体制造
计算机、智能手机、家电产品、车辆、医疗器械等电子设备
应用事例一览
G-WS型
能够实现低成本、低环境负荷处理水溶性气体的湿式废气处理装置
TND型
具备低氮氧化物且丰富的反应副产物处理措施，能够降低维护成本的燃烧式废气处理装置
G5型
高效处理可燃性气体和温室气体（PFCs气体）、燃烧式废气处理装置
G6-E型
可同时处理大流量氢气和氯气的燃烧式废气处理装置
废气处理装置的产品一览
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