
EMT型/ EBT型
可满足超高真空要求的涡轮分子泵
涡轮分子泵
磁悬浮型/球轴承型
小型、轻量
可选择控制器一体型
可选择空冷/水冷式
满足联网需求
可选配高温/耐腐蚀规格
安装方式自由灵活
可满足CE标示/SEMI S2/NRTL要求
产品介绍
产品阵容包括2种涡轮分子泵:电磁轴承EMT型、球轴承EBT型。能够广泛满足340~4,200L/min的大范围排气速度,可选择控制器一体型以及水冷/空冷方式。产品阵容覆盖高温规格、耐腐蚀规格、处理反应副产物、低振等各种选配件,可灵活满足广泛的用途需求。