节能
小型、轻量
耐腐蚀性材料选配件
可选择氮气吹扫机型
在不同频率(50/60Hz)下性能一致
无油
可满足CE标示/SEMI-S2/NRTL要求
通过独家转子设计与怠速功能,节能和小型化达到世界一流水平。有助于降低运行成本。此外,还可选择耐腐蚀性材料,从预真空锁、SEM等轻负荷用途到腐蚀性工艺,能够广泛满足各种不同应用需求。
设备名称 | 单位 | EV-S20 | EV-S20P/N | EV-S30 | EV-S30P | EV-S50 | EV-S50P/N | EV-S100 | EV-S100P/N | EV-S200 | EV-S200P/N | |
排气速度 | L/min | 1,670 | 1,670 | 3,300 | 3,300 | 5,000 | 5,000 | 10,000 | 10,000 | 20,000 | 20,000 | |
极限压力 | Pa | 3.0 | 5.0 | 0.5 | 1.0 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
连接口径 | 吸气口 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW80 | NW80 | NW100 | NW100 | |
排气口 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW40 | NW40 | ||
极限压力时功率概值 | kW | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.55 | 0.55 | 0.65 | 0.65 | 0.75 | 0.75 | |
冷却水 | 流量 | L/min | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 |
温度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
N2 | 流量 | Pa•m3/s | - | 17~20 (2.4) | - | 17~20 (2.4) | 17~20 (2.4) | 17~20 (2.4) | 17~20 (2.4) | |||
电源 相/电压/频率 | 200V机型 | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | |
400V机型 | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | - | - | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | ||
电源容量 | kVA | 3.2 | 3.2 | 3.6 | 3.6 | 4.8 | 4.8 | 6.4 | 6.4 | 6.8 | 6.8 | |
质量概值 | kg | 60 | 60 | 90 | 90 | 100 | 100 | 120 | 120 | 170 | 170 | |
※规格为示例规格。具体规格因机型而异,详细敬请垂询 ※如您所需规格未记载,敬请垂询 |
ESA型
可满足氢气等轻质气体排气要求/大型腔室高速排气要求的干式真空泵
EV-SA型
满足5,000L/m排气速度要求的小型空冷干式真空泵
干式真空泵、废气处理装置一体型系统
能够优化腔室排气和废气处理工艺,降低整合管理成本