各業界經常需要檢查真空腔體、換熱器等設備的冷媒輸送管線、包裝容器等密封容器是否有洩漏情形。使用氦氣就能安全地檢測出極微量的洩漏情形與細微的瑕疵。而為了精準檢測出微量的氦氣，會使用到真空幫浦。荏原的乾式真空幫浦在設計上小巧且方便攜帶，並採用不會使用到油或水的潔淨排氣結構，不僅可使用於工廠，也很適合用在研究室或實驗室，因應多種使用環境。
乾式真空幫浦
EV-PA型
小型・輕量・節能的空冷乾式真空幫浦
ESA型
可因應氫氣等輕量氣體之排氣／大型艙室的高速排氣的乾式真空幫浦
EV-A10型
最適合用於大氣抽取、小型空冷乾式真空幫浦
EV-SA型
排氣速度可到5,000L/m，小型空冷乾式真空幫浦
精密電子事業相關諮詢和營業所信息
聯繫諮詢
精密機械網