一種利用電漿其化學作用的洗淨方式，可選擇性地有效清除肉眼不可見的微量沉積物或雜質。不會讓清潔對象因熱而損傷，也不使用水或溶液，既友善環境又能有效清潔表面。除了用在電子零件、金屬製品、樹脂的表面清潔之外，也用於鍍膜前置處理。
乾式真空幫浦
EV-PA型
小型・輕量・節能的空冷乾式真空幫浦
EV-S型
節能・省空間的乾式真空幫浦
EV-A10型
最適合用於大氣抽取、小型空冷乾式真空幫浦
EV-SA型
排氣速度可到5,000L/m，小型空冷乾式真空幫浦
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