乾燥效率高、且能讓乾燥對象不會因熱而變質的真空乾燥技術被廣泛運用在化學產品與工業產品的製造工程中。在鋰離子電池材料等材料、線圈、印刷電路板、液晶面板用玻璃基板等電子零件、金屬加工零件、金屬等材料等各式產品的製造工程中，都會使用到真空幫浦等真空乾燥設備。
荏原的乾式真空幫浦不會使用到油或水，因此不會汙染到乾燥對象。此外，我們擁有的產品樣式豐富，囊括小型箱體到大型箱體，可因應各種乾燥工程。
乾式真空幫浦
EV-A10型
最適合用於大氣抽取、小型空冷乾式真空幫浦
ESA型
可因應氫氣等輕量氣體之排氣／大型艙室的高速排氣的乾式真空幫浦
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