型號	單位	G5-350 A1~A4/P1~P4	G5-500 A1~A4/P1~P4	G5-600 A1~A4/P1~P4	G5-1200 A1~A4/P1~P4
處理方式		燃燒式＋濕式	燃燒式＋濕式	燃燒式＋濕式	燃燒式＋濕式
最大流入氣體容許量	L/min	350	500	600	1200
燃料		天然氣／液化石油氣	天然氣／液化石油氣	天然氣／液化石油氣	天然氣／液化石油氣
尺寸	W x D x H mm	1,200 x 650 x 1,900	1,200 x 650 x 1,900	1,200 x 1,100 x 2,000	1,200 x 1,100 x 2,200
可處理的氣體		工程(倉庫)氣體 SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等 所有清洗用氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 所有蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等 PFCs CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等	工程(倉庫)氣體 SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等 所有清洗用氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 所有蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等 PFCs CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等	工程(倉庫)氣體 SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等 所有清洗用氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 所有蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等 PFCs CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等	工程(倉庫)氣體 SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等 所有清洗用氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 所有蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等 PFCs CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等
標準配備品		粉體除去用燃燒器刮刀	粉體除去用燃燒器刮刀	粉體除去用燃燒器刮刀	粉體除去用燃燒器刮刀
選配		減少市水、排水用量元件	減少市水、排水用量元件	減少市水、排水用量元件	減少市水、排水用量元件