供給高濃度・大流量臭氧水
雜質低少的臭氧水
高濃度・流量穩定性
高可靠性・易於操作
可因應SEMI／CE mark
OZW型是臭氧水製造裝置，可供給具有高濃度穩定性和流量穩定性的臭氧水。使用低污染的加壓泵和獨創的臭氧氣體溶解技術，可生成低雜質的臭氧水。時常測量臭氧濃度並進行反饋控制，以保持穩定的臭氧水濃度。此外，還內建了運轉信號、互鎖信號電路，以連動洗淨裝置。維修也很容易。該設備配備臭氧氣體檢測儀、臭氧氣體無毒化觸媒等安全裝置，並搭載安全電路，裝置發生異常時可安全停止。
小型臭氧產生器，可產生超高濃度臭氧氣體