1985年	ドライ真空ポンプ・ターボ分子ポンプの開発スタート
1986年	ドライ真空ポンプ1号機（ルーツ型ERD／UERR型）出荷
1992年	ＣＭＰ1号機出荷
1995年	ルーツ型ドライ真空ポンプAA型発売（初の省エネルギー型）
2001年	300mmウエハ用実装めっき装置ＵＦＰ300型出荷
2004年	ベベル研磨装置EAC200bi／300bi型発売
2008年	燃焼式排ガス処理装置Ｇ５型発売（燃焼式第三世代）
2012年	300mmウエハ用ＣＭＰ　F-REX300S2型（第三世代F-REX）発売