1985年 ドライ真空ポンプ・ターボ分子ポンプの開発スタート
1986年 ドライ真空ポンプ1号機(ルーツ型ERD/UERR型)出荷
1992年 CMP1号機出荷
1995年 ルーツ型ドライ真空ポンプAA型発売(初の省エネルギー型)
2001年  300mmウエハ用実装めっき装置UFP300型出荷
2004年 ベベル研磨装置EAC200bi/300bi型発売
2008年 燃焼式排ガス処理装置G5型発売(燃焼式第三世代)
2012年 300mmウエハ用CMP F-REX300S2型(第三世代F-REX)発売