(1)　熊本事業所概要
所在地	：熊本県玉名郡南関町肥猪4000-1
敷地面積	：約140,000平方メートル
(2)　新工場計画概要
施設内容	：半導体製造装置の生産及びドライ真空ポンプのサービス＆サポート
建築面積	：約12,000平方メートル
着工時期	：2016年3月
稼働開始予定	：2016年12月
投資額	：約68億円