2016年02月09日
株式会社荏原製作所
荏原製作所（以下：荏原）は、堅調な需要拡大が見込まれる半導体設備投資やお客様の多様なニーズに柔軟に対応するため、精密・電子事業の基幹生産工場である熊本工場の増強を決定しました。今回の増強は、熊本事業所内に既存の工場設備とほぼ同規模の新工場を増設するものであり、荏原の精密・電子事業では2001年の熊本工場竣工以来の大型設備投資となります。新工場は、主力生産機種であるCMP装置をはじめ、各種半導体製造装置の生産に対応する、柔軟性の高い生産設備となる予定です。また、クリーンルーム内の空調で使用する電力の半減や生産過程で使用された水の95％以上の再利用などを通じて、環境負荷低減や周辺環境との調和に努め、地域との共生を図ります。更に、九州・中国地域を中心としたドライ真空ポンプのオーバーホール拠点として、サービス工場の新設も行う予定です。
荏原は、これからもお客様の要望に応えた高機能な半導体製造装置の提供とサービス＆サポート体制の拡充を図り、半導体業界の発展に貢献していきます。
| (1) 熊本事業所概要 | |
| 所在地 | 熊本県玉名郡南関町肥猪4000-1 |
| 敷地面積 | 約140,000平方メートル |
| (2) 新工場計画概要 | |
| 施設内容 | 半導体製造装置の生産及びドライ真空ポンプのサービス＆サポート |
| 建築面積 | 約12,000平方メートル |
| 着工時期 | 2016年3月 |
| 稼働開始予定 | 2016年12月 |
| 投資額 | 約68億円 |
以上