(1) 熊本事業所概要
所在地 :熊本県玉名郡南関町肥猪4000-1
敷地面積 :約140,000平方メートル
(2) 新工場計画概要
施設内容 :半導体製造装置の生産及びドライ真空ポンプのサービス&サポート
建築面積 :約12,000平方メートル
着工時期 :2016年3月
稼働開始予定 :2016年12月
投資額 :約68億円