1985年 ドライ真空ポンプの開発スタート
1986年 ルーツ型ドライ真空ポンプ販売開始
1989年 ドライ真空ポンプ量産工場 V2工場完成
1991年 標準パッケージ機 A型発売開始
1994年 藤沢工場累計出荷台数1万台達成
1995年 省エネルギー形ドライ真空ポンプ AA型発売開始
1997年 重負荷プロセス用スクリュー型ドライ真空ポンプ AAS型発売開始
1998年 AA70Wが日刊工業新聞社 機械工業デザイン賞「日本産業機械工業会賞」受賞
2000年 AA型が日本機械工業連合会 平成11年度優秀省エネルギー機器「資源エネルギー長官賞」受賞
2003年 省エネルギー形ドライ真空ポンプESR型発売開始
2004年 重負荷プロセス用スクリュー型ドライ真空ポンプEST型発売開始
大流量排気用ルーツ型ポンプESA型発売開始
2007年 ESR型が日本機械工業連合会 平成18年度優秀省エネルギー機器「日本機械工業連合会会長賞」受賞
2009年 省エネルギー形ドライ真空ポンプEV-S型発売開始
空冷式小型ドライ真空ポンプPDV型発売開始
2011年 重負荷プロセス用省エネルギー形ドライ真空ポンプEV-M型発売開始
藤沢工場累計出荷台数10万台達成
2012年 空冷式ドライ真空ポンプEV-A型発売開始
2013年 計測機器用省エネルギー形空冷式ドライ真空ポンプEV-SA型発売開始
2016年 軽中負荷プロセス用省エネルギー形ドライ真空ポンプEV-L型発売開始
2018年 藤沢工場累計出荷台数15万台達成