2016年12月07日
株式会社荏原製作所
荏原製作所（以下：荏原）は2017年1月より、半導体産業向けに新型水冷式ドライ真空ポンプ EV-L型の販売を開始致します。
EV-L型は、メタル・Polyエッチングなどの中負荷用途向けに最適なドライ真空ポンプです。EV-L型の販売開始によって、現在販売中の軽負荷用途(ロードロック室、検査装置、PVD装置など)向けEV-S型および重負荷用途(成膜装置など)向けEV-M型と併せ、軽負荷から重負荷までの全ての領域で最適なドライ真空ポンプをラインナップしました。
EV-L型は、小型・低消費電力であり、耐食材料を標準採用しているとともに、適応用途に最適な温度プロファイルをもつ製品です。
今後も、荏原は、お客さまの生産性向上やトータルコストの削減に貢献する製品・サービスの開発にいっそう注力してまいります。
| 型式 | 排気速度 | 到達圧力 | 消費電力 (到達圧力運転時) |
寸法(WxLxH mm) ※1 |
|---|---|---|---|---|
| EV-L20N | 2000 L/min | 2.0 Pa | 0.65 kW | 280 x 635 x 320 |
| EV-L100N | 10000 L/min | 0.5 Pa | 0.9 kW | 380 x 647 x 655 |
| EV-L200N | 18000 L/min | 0.5 Pa | 1.0 kW | 380 x 772 x 655 |
※1 )
上表中の寸法は、筐体（キャスター含む）の寸法であり、吸排気口は含みません。
注）
「○○○型」の表示は当社の機種記号です。
EV-L100N型