時に,「先生はなぜ大学の先生になる道を選んだのですか?」と,質問されることがある。そのたびに人との出会いの不思議さに思いを巡らせる。大学の先生になる道を自分で選んだのかどうかさえ自信がない。博士論文の提出が迫った中,福井大学で助手の公募が出ていることを知り,恩師の岩渕先生(当時岩手大学)から勧められて受けてみた。
ドライ真空ポンプ生産主力工場であるV2棟は,1989年に藤沢事業所にて操業を開始した。以来,V2棟では,精密・電子事業の発展に伴い,増築や設備投資などのハード面のみならず,生産革新活動による作業改善などのソフト面も整備しながら生産能力増強を図ってきた。
廃棄物処理施設の建設・運営の啓発業務は,地域住民や見学者にごみを適正に処理する仕組みや発生するエネルギーを有効活用していることを説明し,生活の中で必要不可欠な施設であることを認識いただくきっかけになるよう啓発設備やイベント等を設計・製作・企画・実行することである。
廃棄物処理施設における発電の高効率化に向けた1つの施策として,エコノマイザ給水温度の低減による低温熱回収を目指した。そこで,低温熱回収の課題である低温腐食(酸露点腐食や潮解による腐食)が顕在化する条件を調査するため,実機の煙道にて温度を制御した試験片を暴露し,温度と腐食速度の関係性を整理した。
CMP後洗浄工程では,ブラシスクラブなどでウェーハ上に残留する砥粒を剥離し,ウェーハ上の液流れで排出している。しかし,流体の粘性によって液流速が非常に小さいウェーハ表面近傍に粒子が入り込むと,洗浄・乾燥後のウェーハに粒子が残留する。これを再付着と呼んでおり,回転ウェーハ上の液流れとの関係を詳細に調べられていない。
半導体デバイスの高性能化には,更なる微細化・高多層化が不可欠である。平坦化工程を担うCMP装置に対する市場要求を実現するため,当社は新型CMP装置のF-REX300XA型(図1)を開発した。
1966年頃の藤沢工場
100万kW火力発電所内で活躍する50%容量ボイラ給水ポンプ
長段間流路内の流線と後段羽根車入口の流速分布
真空の領域と用途例
座談会(檜山さん、曽布川さん、後藤さん)
標準ポンプの製品例
座談会(三好さん、佐藤さん、石宇さん、足立さん)
GSO型カットモデル
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