최첨단 진공 기술로 생산성 향상
안심할 수 있는 해외 지원 체제
자동화 공장에 의한 생산 프로세스 강화
신뢰성이 높은 기기로 사업 유지를 지원
반도체 제조
일상 생활에 꼭 필요한 다양한 기기의 핵심인 반도체. 에바라의 제품은 반도체 제조에 빼놓을 수 없는 다양한 공정에서 사용되고 있습니다.
분석
질량 분석기, 가스 크로마토그래피, 전자현미경 등 다양한 분석기와 함께 에바라의 드라이 진공 펌프가 활약하고 있습니다.
Leak리크 검사
의약품 패키지나 공기조절기기 등 밀폐 용기의 누수 검사에 Leak 검사. 에바라의 드라이 진공 펌프가 품질 향상을 지원하고 있습니다.
코팅
공업용 제품과 복식품, 광학 부품 등 폭넓은 분야에서 이용되고 있습니다. 고품질 코팅 형성에 에바라의 드라이 진공 펌프가 활약하고 있습니다.
용도 사례 일람
드라이 진공 펌프란
깨끗한 진공 환경 구축에 꼭 필요한 비접촉 구조의 드라이 진공 펌프입니다. 반도체 제조 공정을 중심으로 다양한 분야에서 활약하고 있습니다.
반도체 제조 장치란
고정밀·고집적 반도체 제조에 빼놓을 수 없는 고효율 CMP 장치, 고연마 성능의 베벨 연마 장치, 유연한 구성이 가능한 도금 장치를 제조하고 있습니다. 전 세계의 주요 반도체 제조사에 반도체 제조 장치를 공급하고 있습니다.
배출가스 처리 장치란
지구 온난화 가스(PFCs), 유독 가스, VOC 등 제조 공정에서 발생하는 유해 가스를 무해화하여 대기에 방출하기 위한 제해 장치입니다. 에바라의 배출가스 처리 장치는 제해 처리가 어려운 PFCs 가스도 고효율 처리가 가능합니다.
오존수 제조 장치란
오존수는 오존(O<sub>₃</sub>)을 물에 용해시켜 강력한 산화력을 지닙니다. 에바라의 오존수 제조 장치는 고농도이면서 농도 안정성이 높은 오존수를 생성하여, 처리 효율과 청정도 향상에 기여하고 있습니다.
드라이 진공 펌프 EV-PA형
에너지 절약 설계, 소형・경량・Air-cooled공랭 모델
CMP 장비
우수한 프로세스 성능과 높은 신뢰성
배출가스 처리 장치 TND형
저NoX, 저CO 배출과 고효율 처리를 실현
오존수 제조 장치 OZW형
고농도・높은 농도 안전성의 오존수를 제조
정밀 전자 사업에 관한 문의 거점 소개
애프터 서비스 정보
문의 양식
정밀 네트워크