화학・재료, 전자 부품 등 제품의 제조 공정 중에는 유해한 가스가 발생합니다. 배출가스 처리 장치는 연소식, 촉매식 등 다양한 방식을 이용하여 유해 가스를 무해화하는 장치입니다. 최근에는 환경보호를 위해 배출가스 처리 장치에 대한 수요가 높아지고 있습니다.
에바라의 배출가스 처리 장치는 여러 종류의 가연성 가스를 일괄적으로 고효율 처리하는 연소식, 연료 및 배수 처리가 필요 없는 건식 등 처리해야 할 가스나 사용 환경에 맞춘 다양한 라인업으로 반도체 제조를 비롯한 여러 산업 현장에서 활약하고 있습니다.
배출가스 처리 장치
TND형
저NOx 및 풍부한 반응 부생성물 대책으로 유지보수 비용 절감, 연소식 배출가스 처리 장치
G5형
가연성 가스 및 지구 온난화 가스(PFCs 가스)를 고효율 처리, 연소식 배출가스 처리 장치
FDS형
배수 처리 불필요, PFCs 가스의 고효율 안전 처리, 건식 배출가스 처리 장치
GT형
배수 처리가 필요 없는 비소・인 등의 유해독물질 처리, 건식 제해 장치
정밀 전자 사업에 관한 문의 거점 소개
문의 양식
정밀 네트워크