排ガス処理

化学・材料、電子部品など様々な製品の製造工程で有害ガスが発生します。排ガス処理装置は、燃焼式、触媒式など様々な方式を用いて有害ガスを無害化する装置です。近年は、環境保護の視点から、排ガス処理装置の需要が高まっています。
荏原の排ガス処理装置は、複数の可燃性ガスを一括で高効率処理可能な燃焼式、燃料不要・排水処理不要の乾式など、処理対象ガスや使用環境に合わせた豊富なラインナップで、半導体製造を始め様々な産業で活躍しています。