真空チャンバ、熱交換機などの冷媒輸送ライン、包装容器などの密閉容器の漏れを検査するために、様々な業界で広く用いられます。ヘリウムガスを用いることで、極めて微量の漏れや微細な欠陥を安全に検出可能です。微量なヘリウムガスの漏れを高精度に検知するために真空ポンプが用いられます。荏原のドライ真空ポンプは持ち運びしやすい小型設計かつ油や水を使用しないクリーン排気で、工場だけでなく研究室・実験室などの多様な使用環境に対応可能です。
ドライ真空ポンプ
EV-PA型
小型・軽量、省エネルギー空冷ドライ真空ポンプ
ESA型
水素などの軽ガス排気対応／大型チャンバの高速排気対応可能なドライ真空ポンプ
EV-A10型
大気引きに最適、小型空冷ドライ真空ポンプ
EV-SA型
排気速度5,000L/mまで対応、小型空冷ドライ真空ポンプ
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