プラズマの化学作用により、肉眼では見えない微量の堆積物や不純物を選択的かつ高度に除去する洗浄方式です。熱による対象物のダメージがなく、水や溶液を使用しないため環境に優しく高効率な表面洗浄が可能です。電子部品、金属製品・樹脂の表面洗浄のほか、コーティング前処理にも用いられます。
ドライ真空ポンプ
EV-PA型
小型・軽量、省エネルギー空冷ドライ真空ポンプ
EV-S型
省エネルギー・省スペースのドライ真空ポンプ
EV-A10型
大気引きに最適、小型空冷ドライ真空ポンプ
EV-SA型
排気速度5,000L/mまで対応、小型空冷ドライ真空ポンプ
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