半導体製造装置

半導体製造装置とは

コンピューター、スマートフォン、家電製品、車両、医療機器など、半導体技術は日常に不可欠な多様なデバイスを支えています。日々精密化する半導体の製造工程では、加工装置にもナノメートル単位での加工精度が必要とされます。さまざまな先端技術を組み合わせて製造された高精度加工装置が、半導体の進化を支えています。

半導体製造装置の特長

1.マイクロメートル（ｕｍ）、ナノメートル（ｎｍ）レベルの精度の加工を必要とされる専用の加工装置
2.さまざまなテクノロジーを高度に結合した最先端の製造装置

荏原の半導体製造装置の強み

高精度・高信頼性製造装置で半導体製造の生産性向上に貢献

荏原の半導体製造装置は、最先端の技術と確かな信頼性で半導体製造の生産性向上に貢献しています。独自構造で高稼働率かつ高スループットを実現したCMP装置（Chemical Mechanical Polisher）、高性能研磨・除去が可能でフレキシブルなベベル研磨装置、高スループットかつ柔軟性の高い装置構成が可能なめっき装置をラインナップし、最先端の技術力と安心のサポート体制で半導体技術の進化をサポートしています。