ドライ真空ポンプとは、封止に油や液体を使用しない非接触型の真空ポンプです。水や油の逆流や拡散がなく、クリーンな真空が得られます。また、水や油の補充や交換などの定期メンテナンスが不要で、とても取り扱いが容易なポンプです。
クリーン度が重視される半導体製造工程、FPD・LED・ 太陽電池製造工程には無くてはならないポンプです。近年は、質量分析計や電子顕微鏡などの分析装置で手軽にクリーンな排気が出来ることから使用が拡大しています。さらに、クリーンな真空とメンテナンスの利便性から真空乾燥工程、成膜工程などさまざまな用途で導入が進んでいます。
・真空とは？
・真空の性質を利用した身近な技術・製品
・ドライ真空ポンプの構造を詳しく見る
荏原のドライ真空ポンプは、省エネルギー・小型を特長とし、さまざまな分野で活躍しています。
最適化された独自のロータ設計により圧縮効率を向上、低消費電力を実現しました。小型・軽量設計により、限られたスペースにも設置でき、移設も容易です。世界中で累計20万台以上＊の出荷実績を持ち、性能や信頼性への要求が厳しい半導体業界を中心にさまざまな分野で活躍しています。
さらに、世界50か所以上のサービス拠点を有し、グローバルで安心のサポートを提供します。業界最高水準の小型・軽量モデルから、水素排気モデル、反応性副生成物が発生するプロセスに対応した高負荷対応モデルなど、豊富なラインナップから最適な1台をご利用頂けます。
＊2020年9月時点
荏原のドライ真空ポンプは、これまで主に半導体製造の発展に合わせ技術革新を進めてきました。
近年は半導体以外の産業分野にも活躍の場を広げています。
半導体製造
コンピューター、スマートフォン、家電製品、車両、医療機器などの半導体デバイス
分析
質量分析計、ガスクロマトグラフィー、電子顕微鏡、分光器
リーク検査
医薬品パッケージ、熱交換器、産業用真空加工機などのリーク検査
コーティング
摩耗防止、表面強化、レンズの保護膜など
アプリケーション例一覧
真空とは？
真空の性質を利用した身近な技術・製品
ドライ真空ポンプの構造を詳しく見る
EV-X型
幅広いプロセスカバレッジでCoO削減、省エネルギー
EV-M型
省エネルギー・高負荷プロセスに最適
EV-PA型
省エネ設計、小型・軽量・空冷モデル
EST型
反応副生成物対応、大流量ガス排気
ドライ真空ポンプの製品一覧
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