排ガス処理装置とは、除害装置、スクラバーとも呼ばれ、製造工程で使用される様々なガスを無害化し、安全に排出するための処理装置です。地球温暖化ガスの分解、有毒ガスの無毒化、可燃性ガスの安全な処理、臭気ガスの無臭化などを目的に使用されます。工場作業者および周辺地域に対する安全対策のほか、近年では、環境保護や大気汚染防止の観点から需要が高まっています。
排出されるガス種やガス量によって、燃焼式、湿式、乾式、触媒式などの処理方法が用いられます。半導体製造を始めとした電子デバイス産業のほか、化学工場、めっき・塗装工程、エアコンの冷媒分解など、様々な分野で活用が進んでいます。
荏原の排ガス処理装置は、処理の難しい地球温暖化ガス（PFCsガス）や温室効果ガス（GWG）の高効率処理が可能なタイプ、水素ガスなどの可燃性ガスを安全に処理するタイプ、ヒ素など毒性の強い物質を含むガスを無毒化するタイプなど、各種ガス処理が可能な製品をそろえています。また、発生源の近くで使用するポイントオブユース型のため、大型焼却炉までの長距離配管が不要。初期費用を抑えて導入が可能です。コンパクト設計で設置・移設も容易、量産設備だけでなく実験用途でも使いやすい排ガス処理装置です。
地球温暖化ガス(PFCsガス)や温室効果ガス（GWG）と可燃性ガスの一括処理が可能な燃焼式排ガス処理装置のほか、排水処理不要な乾式、燃料不要な触媒式、水処理による湿式など多様な製品をラインナップしています。
燃焼型排ガス処理装置は、独自開発のバーナーや生成物除去機能などの様々な生成物対策により、メンテナンス時間・頻度を低減。さらに、処理対象ガス種や量に応じて燃料供給量など運転条件を可変できるオンデマンド運転機能を搭載し、ランニングコスト・メンテナンスコストの低減が可能です。
半導体製造
コンピューター、スマートフォン、家電製品、車両、医療機器などの半導体デバイス
アプリケーション一覧
G-WS型
水溶性ガスの低コスト・低環境負荷処理可能、湿式排ガス処理装置
TND型
低NOxかつ豊富な反応副生成物対策でメンテナンスコスト削減、燃焼式排ガス処理装置
G5型
可燃性ガス・地球温暖化ガス（PFCsガス）を高効率処理、燃焼式排ガス処理装置
G6-E型
水素ガス・塩素ガスの大流量同時処理可能、燃焼式排ガス処理装置
排ガス処理装置の製品一覧
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