製造・研究開発を支えるベストパートナーに
半導体製造装置 市場
世界最高水準の技術とグローバルサポートで
安定稼働・生産性向上を実現
先端半導体製造に欠かせないCMP装置を始め、ドライ真空ポンプ、排ガス処理装置、オゾン水製造装置などさまざまな製品を世界中に供給しています。高性能、高信頼性、安心のサポート体制により、多様な分野で採用が進んでいます。半導体分野のみならず、太陽電池、医薬品、その他製造業や研究開発用途で荏原グループの製品が活躍しています。
シェア・実績
ドライ真空ポンプ
累計出荷台数
20
万台以上
ドライ真空ポンプ, CMP装置
世界シェア
2
位
世界のサポートショップ及びオーバーホール工場
50
カ所以上
CMP装置
累計出荷台数
4000
台以上
取り組み・納入事例
現在、スマートフォン、AI、自動運転など、あらゆる分野で半導体の需要が拡大しています。精密・電子カンパニーは半導体製造の重要な工程であるCMP装置やドライ真空ポンプ、排ガス処理技術の分野において、豊富な経験と技術力で顧客のニーズに合わせた最適なソリューションを提供しています。
市場での取り組み
高度な「平坦化技術」をもつ高性能なCMP装置の開発や、環境負荷低減に貢献する省エネ・省資源なコンポーネント製品の開発、さらにドライ真空ポンプ製造の自動化などに取り組んでいます。
暮らしの快適を支える技術
当社はスマートデバイスや家電など私たちの生活を支える半導体の製造工程に欠かせない「CMP装置」を手がけ、世界シェアは2位。世界の半導体製造現場で広く採用されています。
未来へのアクション
高度な「平坦化技術」による高性能なCMP装置の開発や、環境負荷低減に貢献する省エネ・省資源なコンポーネント製品の開発、さらにドライ真空ポンプ生産の自動化などに取り組んでいます。
