EST型

反応副生成物対応、大流量ガス排気が可能なドライ真空ポンプ

高温化制御対応
大排気速度
大流量排気
耐腐食性材料標準採用
耐腐食性向上オプション
高負荷プロセス対応
異なる周波数（50／60Hz）で同一性能
オイルフリー
CEマーキング/SEMI-S2/NRTL対応可能

製品紹介

EST型は、スクリュー型ロータを採用、ポンプ内ガスを高温に保つ高温化機能を搭載し、反応副生成物が形成されるCVDなどの用途に最適です。耐腐食性材料を標準採用、大排気速度かつ大流量排気を実現、ダウンタイムを抑制しプロセスの効率化に貢献します。

スペック

型式 単位 EST10N EST25N EST100WN EST200WN EST300WN EST500WN EST800WN
排気速度 L/min 1,000 2,500 10,000 20,000 30,000 50,000 80,000
到達圧力 Pa 2.7 0.4 0.4 0.4 0.4 0.4 0.5
接続口径 吸気口 NW40 NW40 NW50 NW100 NW100 ISO160 ISO200
排気口 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40
到達圧力時電力概略値 kW 2.3 3 3.2 3.2 4.5 4.6 4.6
冷却水 流量 L/min 5~8 5~8 5~8 5~8 5~8 5~8 5~8
温度 ℃ Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30
N2 流量 Pa•m3/s 13~18 13~18 24~29 24~29 28~31 28~31 28~31
電源　相／電圧／周波数 200Vモデル 3相/200-220V,50/60Hz 3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz		 3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz		 3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz		 3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz		 3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz		 3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz
400Vモデル 3相/380-440V,50/60Hz 3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz		 3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz		 3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz		 3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz		 3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz		 -
電源容量 kVA 4.6 7.3 8.2 8.5 12.7 15.1 16
概略質量 kg 260 300 380 430 500 550 840

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