EV-S型
省エネルギー・省スペースのドライ真空ポンプ
製品紹介
- 独自のロータ設計とアイドリング機能により世界最高レベルの省エネルギーかつ小型化を実現。ランニングコストの削減に貢献します。また、耐腐食性材料オプションを選択でき、ロードロック・SEMなどの軽負荷用途から腐食性プロセスまでの幅広いアプリケーションに対応可能です。
スペック
| 型式 | 型式 | 単位 | EV-S20 | EV-S20P/N | EV-S30 | EV-S30P | EV-S50 | EV-S50P/N | EV-S100 | EV-S100P/N | EV-S200 | EV-S200P/N |
| 冷却水 | 流量 | L/min | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 |
| 温度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| 電源 | 電源容量 | kVA | 3.2 | 3.2 | 3.6 | 3.6 | 4.8 | 4.8 | 6.4 | 6.4 | 6.8 | 6.8 |
| 排気速度 | 排気速度 | L/min | 1670 | 1670 | 3300 | 3300 | 5000 | 5000 | 10000 | 10000 | 20000 | 20000 |
| 到達圧力 | 到達圧力 | Pa | 3 | 5 | 0.5 | 1 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 接続口径 | 吸気口 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW80 | NW80 | NW100 | NW100 | |
| 排気口 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW40 | NW40 | ||
| 到達圧力時電力概略値 | 到達圧力時電力概略値 | kW | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.55 | 0.55 | 0.65 | 0.65 | 0.75 | 0.75 |
| N2 | 流量 | Pa•m3/s | - | 17～20 (2.4) | - | 17～20 (2.4) | 17～20 (2.4) | 17～20 (2.4) | 17～20 (2.4) | |||
| 電源 相／電圧／周波数 | 200Vモデル | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | |
| 400Vモデル | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-440V,50/60Hz | - | - | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-440V,50/60Hz | ||
| 概略質量 | 概略質量 | kg | 60 | 60 | 90 | 90 | 100 | 100 | 120 | 120 | 170 | 170 |
