型式 単位 TND-Single A1-A4/ TND-Single P1~P4 TND-Single Plus-A1~A4/P1~P4
処理方式 燃焼式＋湿式 湿式＋燃焼式＋湿式
最大流入ガス許容量 L/min 200(1ポートあたり） 200(1ポートあたり）
400(1装置あたり） 400(1装置あたり）
燃料 都市ガス／プロパンガス選択 都市ガス／プロパンガス選択
寸法 W x D x H mm 1,200 x 650 x 1,980 1,200 x 650 x 1,980
処理可能ガス例 プロセス(デポ)ガス
SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2 、PH3、Si3H8など
クリーニングガス全般
NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 など
エッチングガス全般
HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 など		 プロセス(デポ)ガス
WF6、TiCl4、SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 など
クリーニングガス全般
NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 など
エッチングガス全般
HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 など
PFCs
CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 など
標準装備品 粉体除去用水洗浄機構 前段粉体捕集機構
粉体除去用バーナスクレーパ 粉体除去用バーナスクレーパ
オプション 市水・排水使用量削減ユニット 市水・排水使用量削減ユニット
粉体排出削減用ファンスクラバー 粉体排出削減用ファンスクラバー