当社ドライ真空ポンプは「ルーツ型」「スクリュー型」のポンプを採用しております。どちらも内部接触が無く、スクロールポンプの接触による摩耗粉が発生しません。摩耗粉の逆拡散によるチャンバ汚染リスクが無く、接触部の定期的な部品交換が不要な為、メンテナンス性に優れた製品です。ランニングコスト削減にも貢献致します。
ポンプが停止しました
RoHS規制には対応していますか。
取扱説明書・納入仕様書の言語は指定可能ですか。
ポンプの吸気口のフランジサイズは指定可能ですか。
小型で軽量な真空ポンプはありませんか。