荏原グループ技術元素表

中央監視制御システムや遠隔監視装置等に関する開発、設計技術を保有しています。

インフラ系プラントの新規建設、増設、更新工事等における、工程管理、品質管理、安全管理、原価管理を行い、プロジェクトを遂行し目的物を完成させる施工管理技術を保有しています。

インフラ系プラントの受配電設備、動力設備等の電気設計、監視制御システム等の設計に関する技術を保有しています。

ポンププラントにおいて受配電設備、動力設備等に関する電気設計、制御ロジック設計技術を保有しています。

ポンププラントにおいて発生する流体過渡現象（水撃、脈動、渦等）に対する数値解析技術と、その解析結果に基づく対策技術を保有しています。

エチレン製造プラントなどで使用される複数段のエコノマイザサイクルに対応する冷凍システム用圧縮機を設計・製造する技術を保有しています。

極低温の液化水素やLNGを作動流体とするポンプ、圧縮機の回転機械を設計・製造する技術を保有しています。

ポンプ、送風機を始めとした回転機械において、回転体とケーシング間の軸封に関する技術を保有しています。大きく分けて接触型（メカニカルシール、グランドパッキン、動圧シール）と非接触型（ライナリング、ラビリンス等）があります。

石油化学プラントや石油精製プラントの高温腐食ガスなどによる回転体の金属材料の腐食・浸食・損傷・重合物付着等を防止する特殊コーティング技術を保有しています。

金属材料の腐食防食、摺動・摩耗、構造強度に関する技術を保有しています。

燒結・転炉用ブロワ、車風速・トンネル・風洞用ファンなど複数のラインナップを保有し、多年の実績に基づく自社設計が可能。送風機製品の設計・製造・品質管理およびメンテナンスなど、送風機を製造するために必要な製造方法を構築することができる技術を保有

各種熱源機器を適切に運転させる制御技術。適切な機器を選択し組み合わせ、多様な目的に対応する熱源システムを構成設計する技術。

モータを製造するために必要な製造方法を構築することができる技術 （巻線、絶縁、溶接、機械加工）

水中環境で使用するモータ（乾式、水封式、キャンド式）に関する、絶縁性や耐水圧性能を満足する構造設計、絶縁材料選定、水中環境における導体と電源線の接続技術、要素部品（調圧機構、滑り軸受）を設計・評価し、製品としてエンジニアリングできる技術

高温・高応力に対応する素材の選定や、多粉塵下で機能を維持する耐摩耗材を溶接する技術。更に産業用送風機の構成要素（風量調整機構、滑り軸受）を設計し、製品としてエンジニアリングできる技術

ポンプシステム技術には、ポンプの使い勝手に合わせた最適運転状態を提供するための電気・電子・制御技術、インバータや電源等電力変換器に関するパワーエレクトロニクスやポンプコントローラを実現するための制御盤設計や電気・電子回路設計技術、制御ロジック設計技術を保有しています。

磁界解析を用いてモータに関する鉄芯、磁石及び導体（一次／二次）の最適形状設計、材料グレード選定、配置や巻数を決定し、試験装置を用いて実機計測、評価ができる技術

ポンプモータを駆動するインバータ装置の駆動制御を行う組込みソフトウエアの開発技術，及びポンプ装置の運転状態を無線通信（NFC・Bluetooth・Wi-Fi）を使ってスマートフォンなどに送信するセンサ機器の動作を制御する組込みソフトウェアの開発技術を保有しています。

ドライ真空ポンプにおいて、2軸間を微小すきまで同期反転させるタイミングギアの技術を保有しています。

CMP装置やベベル研磨装置における半導体基板の研磨技術です。基板表面の各種膜や基板自体を研磨して平坦化する技術と、基板エッジ部（ベベル）を研磨して薄膜の除去や所定の形状に加工する技術を保有しています。 CMP（Chemical Mechanical Polishing）は、研磨圧力を精密に基板エリアごとにコントロールをする技術と、スラリー、パッド、ドレッサーを最適に組み合わせて使うことで、ナノメートルオーダーの平坦化を実現します。ベベル研磨は、砥粒が接着されているテープを使った研磨技術で、基板のベベル部に堆積している複数種類の膜とシリコン表面を一度に除去します。

ドライ真空ポンプやターボ分子ポンプで真空を作り出す技術です。ドライ真空ポンプは、排気するガス流路のシール（封止）に油又は液体を使用しない容積移送式真空ポンプで、クリーンな真空環境を提供します。また、ポンプ温度の最適化や耐食材料技術によって、ポンプ長寿命化を実現します。さらに、排気シミュレーションなどを駆使し、各種真空機器や配管、真空ポンプを組合わせて、真空排気システムとする技術も保有しています。

半導体用各種基板にミクロンオーダーの電解めっきを行う技術です。めっき槽内のめっき液流れと電場を最適にコントロールし、薬液、アノード、メンブレンを最適に組み合わせて、基板の面内均一性のあるめっきを実現します。

CMP装置（Chemical Mechanical Polisher）において、研磨後の基板に付着する微小パーティクル（異物粒子）や金属汚染の元となる成分を低減させるための装置内気流を制御する技術であり、かつ、スラリーに含まれる研磨粒子やケミカル（薬液）雰囲気の装置外拡散及びメンテナンス作業時の残留ケミカルによる被ばくも回避するなど作業者への安全面も配慮した装置内気流を制御する技術を保有しています。

回転機械において、磁気軸受を用いて非接触で高速回転を実現する技術を保有しています。回転体の位置センシングと電磁石の磁力を制御することで、安定した回転を実現しています。

CMP（Chemical Mechanical Polishing）後洗浄は、CMPで付着したスラリーや研磨した基板や膜などの残渣を洗浄し、乾燥させる技術で、ドライイン/ドライアウト※を実現する技術を保有しています。薬液やスポンジを使った洗浄と、回転技術やIPA（イソプロピルアルコール）を使った乾燥で、半導体の歩留まりに大きく影響するディフェクト（欠陥）を少なくすることができます。
※ドライイン/ドライアウト：CMP装置に乾燥した半導体ウェーハを入れるとCMPプロセス終了後に乾燥したウェーハが出てくること。

モータトルク、光学式、渦電流式があり、それぞれの方式と様々なフィルタやアルゴリズムを組み合わせることで、CMP（Chemical Mechanical Polishing）の研磨終点を検出できる技術を保有しています。スラリーが流れるウエット環境で、検出する基板が回転している状態で、ナノメートルオーダーの残膜厚検出ができます。

放電によって高濃度・高流量のオゾンガスを生成し、純水に高濃度で溶解することができ、要求に応じた濃度と流量のオゾン水を供給できる技術を保有しています。

PFC (perfluoro-compound）、可燃性、酸性、毒性等のガスを燃焼式、湿式、乾式、フッ素固定式で無害化する技術およびガス分析技術や、また排ガス処理装置内の反応器入口～反応器内～反応器出口の各部において、粉体閉塞や腐食を防止する技術や、処理したガス中のPM2.5を除去する技術を保有しています。

誘導キャンドモータ、2軸同期キャンドモータ、インバータの技術があります。

工具を用いて金属材料を削ったり穴を開けたりする加工技術を保有しています。切削対象の材質や形状・寸法公差などを考慮し、最適な工具選定や切削条件を見極めることが求められます。特に真空を作り出すための部品は、高い加工精度と量産を両立させています。

半導体製造装置内のプロセス間搬送における搬送待機時間の最小化と均一化を実現しながら、単位時間当たりに処理できる基板のスループットを最大限に高めて高生産性を実現する技術です。その実現のために、スループット最大化シミュレーションとそれに基づく基板搬送とプロセス処理をスケジューリングできるソフトウェアの技術があります。

ポンプや圧縮機製品などの高信頼性や長寿命化を実現するため、高圧下などの過酷な運転する場合においても強度や変形を適切に評価する技術を保有しています。

ポンプ、圧縮機や送風機、蒸気タービンなど、荏原のターボ機械製品の空力、水力部の設計を、流れ解析や最適化技術など先進のCAE技術を駆使して開発・設計する技術を保有しています。

固体表面の組成や元素状態を分析する技術を基本として、薬液中や高温などの実装置環境における表面状態や物性を評価する技術を保有してます。

この他、取り扱い環境における最適な材料選定のための水質分析や、劣化メカニズム解明のための断面観察、破面観察、異物分析などを実施し、各事業の製品開発をサポートしています。

コンプレッサ胴体など厚さ100mmを超える極厚板の溶接や海水ポンプ向けの二相ステンレスのような高耐食性材料の溶接など、高い品質が要求される溶接技術を保有しています。

これらの溶接はASME等の溶接規格に準じて品質管理が行われています。また、ロボットや溶接カメラ、センサを活用した溶接自動化にも取り組んでいます。

溶射やレーザクラッディングなどの表面処理技術を用いて、ポンプ羽根車や軸などに耐食性や耐摩耗性を付与しています。また、焼却炉内部の耐熱性が要求される部品へも使用を開始しています。これらの技術は損傷した部品の形状修復にも適用しています。

ごみ焼却及び発電プラントのボイラ伝熱管の内部を自走して肉厚の多点測定を自動で可能とした肉厚測定ロボットをはじめとして、ごみ焼却及び発電プラントの保全・メンテナンスの高度化や省力化に資するロボットの開発技術や、事業実装するための技術・ノウハウを保有しています。また、製造プロセスへのロボット活用を積極的に進めています。真空ポンプの自動組立ラインでの活用を始め、溶接工程や塗装工程、研削工程等への活用も進めています。

仮想現実VR，拡張現実AR，および複合現実MRの各種技術及びこれらのｘR技術に高速通信、クラウド、AIを活用する技術を、社内の各種業務へ適用し高度化・効率化を進めています。具体的には、設計DR、各種バーチャルトレーニング、さらに障害者の業務支援などにもxR技術を活用しています。

金属材料の腐食防食、金属材料や樹脂材料の摺動・摩耗、構造強度に関する基礎技術、応用技術を有しており、特殊環境で使用される当社製品の材料の選定や寿命予測、製品の信頼性向上寄与しています。

流体機械や半導体製造装置の内部流れ解析による高性能製品の開発設計技術や、キャビテーション解析による損傷や騒音の予知保全技術、流体の計測技術、ハイスピードカメラ・PIV・油膜法による流体の可視化技術など荏原製品に係わる流れの高度解析技術を有しており、製品の開発・設計・信頼性向上に貢献しています。

ポンプ、送風機を始めとした回転機械、ポンプ機場の性能や信頼性を高めるための、振動構造力学、熱流体力学などの数値解析を適用するための体制と独自技術を保有しています。

また、各事業の製品開発を熱流体解析、構造解析、振動音響解析、物質移動解析や、これらの連成解析、キャビテーション解析などの混相流解析、原子スケール解析などの多岐にわたる解析技術や、数千コア規模の大型計算機を用いた大規模計算技術、AIやデータ同化などのデータ科学技術を駆使してサポートしています。

ポンプ、送風機を始めとした回転機械において、回転体を支承する軸受に関する技術を保有しています。大きく分けて転がり軸受とすべり軸受があり、特に水中すべり軸受動圧軸受は荏原の独自技術です。

回転体をはじめとする製品の、振動低減、振動予測・最適化、騒音低減、音質（聞き心地）の制御、計測および診断に関する基礎技術、応用技術を保有し、製品の信頼性向上に貢献しています。

具体的には、ポンプ、送風機を始めとした回転機械では、回転体、ケーシング及び流体関連等の各種振動に関して、振動や音響の影響を抑制・低減し適切な運転状態を実現するための技術を保有しています。広義では、故障診断（遠隔監視システム）や各種の防音・防振対策機器も含みます。

冷凍機や冷却塔、地熱発電などの伝熱を伴う製品開発に寄与するため、対象物の放熱、加熱量の測定技術、対象物の放熱量、加熱量を推定する技術を保有しています。

トヨタ生産方式の思想をベースに、工場において効率的な生産を来なうためにIE（インダストリアル・エンジニアリング）を用いた作業分析や動線分析を行い生産ラインの改善を行っています。また、生産シミュレータを用いたレイアウト改善の取り組みも行っています。