化學、材料、電子零件等產品的製造工程中會產生有害氣體。而廢氣處理設備就是透過燃燒、觸媒等方式將有害氣體無害化的設備。隨著近年環保意識提升，廢氣處理設備的需求也跟著增加。
荏原提供的多種廢氣處理設備被廣泛運用在半導體製造等各個產業中，包括可高效率地同時處理多種可燃氣體的燃燒式機型、不需燃料且不需排水處理的乾式機型等，可供顧客依據要處理的氣體和使用環境來選擇。
廢氣處理設備
TND型
燃燒式廢氣處理設備，以低NOx且豐富的反應副產物對策降低維修成本
G5型
高效率處理 可燃性氣體・地球暖化氣體（PFCs氣體）的燃燒式廢氣處理設備
FDS型
乾式廢氣處理設備，無需排水處理，高效且安全地處理PFCs氣體
GT型
乾式除害裝置，無需排水處理・處理砷、磷等有毒物質
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