我们精密与电子公司的主力产品有”干式真空泵””废气处理装置””CMP装置”。日本国内外”半导体工厂”便是这些产品大发异彩的地方。
AI、IoT、5G等创造人类未来的所有技术都必须用到半导体。半导体的制造现场与我们的生活环境完全不同。干式真空泵对精密加工得到的名为转子的叶轮进行高速旋转控制，将半导体制造装置内的气体排空后形成真空，在装置内建立清洁空间；废气处理装置将该气体转变为对环境无害的形式。这些产品在致力于善待地球环境的半导体行业，将省空间、省电、温室气体减排效果作为附加值，满足客户需求。另外，CMP装置使用高水平控制技术对晶圆表面进行精密研磨加工，实现了nm（纳米）单位的加工精度。半导体制造技术领域与半导体的高性能化携手进步，本公司在该领域不断找寻连顾客都尚未发觉的性能价值，除了自己开展研究开发外，还与很多大学及研究机构开展联合开发。
我们秉承面对困难绝不退缩的荏原技术人员的精神，以市场导向的思路始终关注未来，不断发起创新，进一步发展壮大。