为富裕社会提供支持的“CMP装置”平坦化技术

想了解信息。想听音乐。这种时候你会怎么办呢？　很多人大概会拿出智能手机或平板电脑上网吧。这类智能设备和互联网都必须用到半导体。除此之外，在外面操作家里的空调，向浴缸中放热水，实现这种便捷生活也少不了半导体。

精密与电子公司经营半导体制造装置，该装置负责半导体制造工序之一的CMP工序。半导体采用多层结构，越是尖端产品层数越多，所以需要用CMP装置对晶圆进行多次研磨来实现平坦化。CMP装置还具备清洗功能，在研磨结束后将残留在晶圆表面的研磨液残渣和微粒等清洗干净。本公司的该CMP装置份额位列全球第二，其工艺性能、灵活的搬送机构、高生产效率得到好评，在最尖端的半导体制造现场得到广泛应用。从量产生产线到实验、R&D用途，在全球得到应用，至今累计出厂数量达到3,000台（2022年1月）。