营造清洁环境的真空技术“干式真空泵”
形成真空空间的“干式真空泵”对半导体制造不可或缺
各位听到“真空”一词会联想到什么？可能会联想到类似宇宙空间那样“什么都没有的状态”。现在我们生活不可缺少的智能手机、电脑等电子设备，还有日常生活用到的保温瓶、最尖端物理学实验中用到的粒子加速器等，各种领域都有产品用到真空技术。其中真空在半导体制造中尤其具有非常重大的意义。
在作为半导体基板的晶圆的加工工序中，为了避免混入杂质（气体分子等），会使用真空泵将名为腔体的加工空间的空气抽出，尽量提高真空度。这时就要用到精密与电子公司经营的“干式真空泵”。其具备将空间中气体分子清除的功能，而且接触气体的部分采取不使用油的结构，所以不用担心因水、油的回流或扩散导致污染，可获得清洁真空。本公司自1986年开始销售干式真空泵，目前全球份额位列第二。在全球有50多处服务网点，建立了全球范围的放心支持体制，因此获得全世界众多企业的支持。
