近年来世界各国发布了“碳中和”宣言，要将温室气体实际排放量整体控制在零，日本也提出了具体的数值目标。而且碳中和对半导体行业而言也是重要的关键词，环保的可持续发展半导体制造技术的重要性进一步提高。荏原集团作为其中一员，为实现碳中和开展事业活动，通过各种方式积极开发环保产品。
通过在组件事业主力产品的干式真空泵方面，致力于小型化、轻量化、低耗电化，在废气处理装置方面，降低燃料用量、实现脱化石燃料化、提高温室气体的分解性能，从而努力减少环境负荷。另外，在EUV排气系统方面，建立氢能再利用系统，推动对资源有效利用的探讨。在CMP事业方面，实现低耗电化，减少公辅介质用量，同时在其他事业方面，围绕大幅减少纯水用量的新型晶圆电镀装置以及基本不需要药液和工艺气体的晶圆斜面研磨装置，积极推动开发和扩销。
在自己公司的工厂内积极采用可再生能源，在藤泽事业所的工厂厂房顶部安装太阳能电板，努力减少环境负荷。荏原集团今后仍将努力实现可持续发展目标（SDGs），为实现碳中和加快推动措施。