１．小型、高出力、高精度
２．環境に優しい低GWP※冷媒
３．インバータ制御による省エネ性
※Global Warming Potential(地球温暖化係数)
荏原のチラーは、小型・高出力・高精度を特長とし、さまざまな分野での使用を想定しています。荏原独自の小型ポンプを使用することで省フットプリントを実現しました。小型の設計ながら高出力で、限られたスペースでの柔軟なレイアウトができ、精密温度制御によるプロセス安定性の向上が可能です。荏原のインバータ制御技術により省エネ化をはかれます。低GWP冷媒を使用しているので環境負荷が低く、万一の漏洩時のリスクを低減します。また、SEMI、CE、NRTLといった各種認証規格を取得しています。
RJ-XA型
インバーター制御による消費電力の削減を図ることができるチラーです。
RJ-CA型
自然冷媒（CO2）を採用した半導体製造装置向けチラーです。
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