産業チラー

チラーとは製造プロセスの冷却等に用いられる装置です。ここでご紹介するチラーは、主に半導体製造装置やFPD製造装置の冷却用に付帯設備として使用されます。スパッタリング、エッチング工程におけるステージの冷却などの温度コントロールに使用され、精度の高い温度安定性が求められます。

高度情報化社会が急激に進展する中、メモリの積層数の増加、加工精度の高精度化といった要求に対して半導体製造プロセスの高負荷化が進み、装置台数、装置一台あたりのチャンバ数、製造装置に付帯する機器の台数も増加しています。近年は、小型かつ高出力でスペースを効率的に利用可能なチラーの需要がますます高まっています。さらに、地球温暖化が進み、その対策としてフロンの規制が厳しくなる中、環境に優しい製品の要求も高まっています。