半導体製造装置の
アフターサービス

装置稼働率やメンテナンスに係る課題解決への迅速対応を行うと共に、サービスコントラクトのご提案もいたします。

グローバルなパーツストック体制により、生産に必要な純正消耗部品、定期交換部品およびスペア部品をタイムリーにご提供いたします。

最先端製品スペック、生産性向上、コスト削減等の改善ニーズに対応するアップグレード改造により、既存装置の価値を継続的に高めてゆくご提案をいたします。

装置オペレーション、オプション機能、日常消耗品交換にかかわるものをベースに、当社装置をお使いただくために必要なトレーニングメニューをご用意しております。

荏原グループ各社のリファブによる中古装置販売をいたします。