2024年12月09日
燃焼式排ガス処理装置LPCMN型
荏原製作所（以下：荏原）は、半導体製造におけるプロセスガスの無害化処理を行う燃焼式排ガス処理装置LPCMN型の販売を、2025年1月から開始いたします。
<h3><b>1．背景</b></h3>
半導体製造プロセスでは、さまざまな新しい特殊材料ガスが使われています。それらを安全に無害化処理するだけでなく、その過程で発生する反応性副生成物の発生を抑え、排ガス処理装置の連続稼働時間を伸ばし、生産ラインを停止させないことも求められています。
荏原は、このようなニーズに対応するため、当社従来製品のTND型よりさらに処理性能・耐久性能を向上させた、新型排ガス処理装置LPCMN型を開発いたしました。
<h3><b>2．特長</b></h3>
本製品は、主に以下の4つの特長を備えています。
①副生成物付着の抑制とNOx/COx
排出量削減の両立
CF4など難分解性ガスに対して従来製品と同等以上のDRE値95％以上を達成し、新規開発した2段燃焼バーナーによって、ガス処理反応部での副生成物付着を最小限に抑制することと、NOx/COx排出量の削減を両立させました。
②製品の小型化による省スペース化
筐体高さ寸法を従来機比で約50%縮小しました。製品を小型化することで生まれる上部空間を有効活用することが可能です。
③水素燃料仕様をラインナップ
使用燃料としては、化石燃料の他に水素燃料をラインナップに加えました。
④最大風量600L/min
コンパクトな設計でありながら、従来製品のTND型と同様の最大風量を保持しています。
<h3><b>3．仕様</b></h3>
| 形式 | LPCMN型 |
| 最大接続流入口数 | 4本（6本仕様は2025年販売開始予定） |
| 最大ガス流入量 | 600L/min （大流量仕様も今後販売開始予定） |
| 外形寸法W x D x H （mm） | 1200 x 700 x 990 |
| 燃料 | 水素 / 都市ガス / プロパン |
| 対応可能プロセス | ALD / PE-CVD / LP-CVD / ETCHING |
<h3><b>4．今後の展開</b></h3>
2024年12月11日から東京ビッグサイトで開催されるSEMICON Japan 2024にて、本製品の実機およびパネルの展示を行います。
当社は今後も、お客さまの期待に応える技術で課題に挑戦し、多様化する半導体業界のさらなる発展と、長期ビジョン「E-Vision2030」で掲げる「進化する豊かなくらしづくり」に貢献していきます。
荏原グループは、長期ビジョンと中期経営計画に基づいてESG 重要課題に取り組むことで、持続可能な開発目標（SDGs）の達成を目指し、企業価値のさらなる向上を図っていきます。
※ 文中の「○○○型」の表示は当社の機種記号です。
【本件に関するお問い合わせ先】
精密・電子カンパニー 展示会問い合わせ窓口： pmc_info@ebara.com
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