省エネルギー
小型・軽量
空冷
単相100V-240V電源で使用可能
シール交換不要で長寿命
低騒音
オイルフリー
異なる周波数(50/60Hz)で同一性能
CEマーキング/SEMI-S2/NRTL対応可能
EV-PA型は、小型・軽量・省エネルギーの空冷式ドライ真空ポンプです。冷却水不要で必要なユーティリティは電源のみ、単相100V-240V電源で使用可能です。小型・軽量のポータブル設計で限られた設置スペースにも設置可能です。さらに、非接触式シールの採用によりシール交換が不要、長寿命を実現しました。各種分析用途のほか、可搬式リークディテクターや移設を繰り返す研究・実験用途に最適です。
型式 | 単位 | EV-PA250 | EV-PA500 | |
排気速度(ガスバラスト使用時) | L/min | 230 (200) | 500 (430) | |
到達圧力 | Pa | 0.5 (2.0)* | 0.5 (2.0)* | |
接続口径 | 吸気口 | NW25 | NW25 | |
排気口 | NW25 | NW25 | ||
到達圧力時電力概略値 | kW | 0.24 (0.38) | 0.27 (0.6) | |
冷却方式 | 空冷 | 空冷 | ||
電源 | 定格電圧 50/60Hz | 単相 100-230V | 単相 100-230V | |
許容電圧変動 | ±10% | ±10% | ||
電源容量 | kVA | 0.45 | 0.66 | |
概略質量 | kg | 16 | 21 | |
* ガスバラスト使用時 |
EV-SA型
排気速度5,000L/mまで対応、小型空冷ドライ真空ポンプ
EV-A10型
大気引きに最適、小型空冷ドライ真空ポンプ
EMT型/ EBT型
超高真空対応ターボ分子ポンプ
ESA型
水素などの軽ガス排気対応/大型チャンバの高速排気対応可能なドライ真空ポンプ