製品紹介
低コストで導入・運用可能な湿式排ガス処理装置です。燃料不要、かつ10年以上の燃焼式排ガス処理装置で培った、荏原独自の副生成物対策による長期メンテナンス周期を実現。安定稼働とメンテナンス費用・手間の削減に貢献します。さらに、メンテナンススペースは装置前面のみ。限られたサブファブスペースでも柔軟性の高いレイアウトが可能です。
処理対象ガス：NH3、DCS、TiCl4、WF6、HF、HClなどの常温で処理可能な水溶性ガス
スペック
| 型式 | 単位 | G-WS1000 | |
| 最大処理風量 | L/min | 1,000 | |
| 接続流入口数 | 4 | ||
外形寸法 | mm | W914×D736×H1,727 | |
用力 | 水量 | L/min | 1 - 10 |
| 排水量 | L/min | 1 - 10 | |
| 窒素 | L/min | 15-50 | |
| 電源 | 1.8-3.5kW, 3相AC 200V(50/60Hz) | ||
| 排気ダクト（処理済みガス） | 1.5 | ||
| 排気ダクト （筐体排気） | m3/min | 1.3 | |
主な処理可能ガス | Epi | HCl, DCS | |
| CVD | WF6, NH3, TiCl4, BCl3, ClF3, SiF4, Cl2*, F2* | ||
| Etching | BCl3, HCl, HF, HBr, SiF4, Br2*, Cl2*, F2* | ||
| Asher | NH3 | ||
| 湿式では処理できないガス | H2, SiH4, PH3, GeH4, CH4, PFCs (CF4, SF6, NF3) etc. | ||
| ＊処理時はお問合せ下さい | |||
