RJ-XA型
グローバルな環境規制に対応した半導体製造装置向け低GWP冷媒チラー
小型、高出力
水冷式
ポンプ内蔵
低GWP冷媒R513A採用（GWP＝629）
CEマーキング／SEMI／NRTL
省フットプリント
省エネ
銅・真鍮素材レス（オプション）
製品紹介
グローバルな環境規制に対応した低GWP* 冷媒(R513A) を採用した半導体製造装置向けチラーです。インバーター制御による消費電力の削減を図れます。
オプション仕様として、接液部に銅・真鍮素材を使用していない仕様も備えており、腐食によるリスクを低減できます。
スペック
| 型式 | RJ-XA1V | |||
| 冷却能力(50Hz/60Hz) | kW | 3.7（10℃時） 6.1(20℃時) | ||
| 温度制御範囲 | ℃ | 5~40 | ||
| 温度制御精度 | ℃ | ± 0.1 | ||
| 外形寸法（W x D x H） | ｍｍ | 375 x 1050 x 1150 | ||
| 質量 | kg | 160(循環液、冷却水含まず) | ||
| 循環液 | 使用流体 | 純水、エチレングリコール 他 | ||
| 圧送ポンプ能力 | L/min | 20 (0.49MPa) | ||
| 冷却水 | 温度範囲 | ℃ | 10～25 | |
| 安全規格 | SEMI(S2.S8.F47)、CE、NRTL | |||
| 電源 | V | 三相 200～208 | ||
| 運転制御方式 | インバータ制御方式 | |||
| 使用冷媒 | R513A（GWP：629） | |||
| ※仕様はご参考です | ||||
