GT型

排水処理不要でヒ素・リンなどの有毒物質処理、乾式除害装置

乾式排ガス処理装置
省エネルギー
様々なアプリケーションに対応
排水処理不要
燃料不要
研究設備用に最適
特定化学物質を吸着

製品紹介

GT型は、TLV値以下の高効率処理が可能な乾式排ガス処理装置です。処理対象に応じ適して吸着剤を選択でき、幅広いアプリケーションに対応可能です。ヒ素やリンなどの有害物質を選択的に処理でき、燃料・排水処理が不要なため、燃料ラインや排水処理設備がない実験室などでの使用にも最適です。省エネルギーで高効率処理が可能です。

スペック

型式 単位 GTE-3-0 GTE-0-2 GTC-1-0 GTC-2-0 GTC-6-0 GTC-0-1
処理方式 乾式 乾式 乾式 乾式 乾式 乾式
処理可能ガス HBr、Cl2、BCl3、F2、SiF4、HF、COF2、C5F8、C4F6 など NF3、N2O、NO、NO2、SiF4、HF、F2 など SiH4、PH3、AsH3、TMS など NH3、SiH2Cl2、SiCl4 など TEOS、TMB、TME、O3 など ClF3、HF、F2、HCl など
最大流入ガス許容量 L/min 100 80 100 100 100 100
寸法 Single W x D x H mm 600x600x2,000 900x600x2,000 600x600x2,000 600x600x2,000 600x600x2,000 600x600x2,000
Dual W x D x H mm 900x600x2,000 - 900x600x2,000 900x600x2,000 900x600x2,000 900x600x2,000

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